Выдаленне субміконскіх часціц (0,01 мкм)
Дакладнасць ачысткі WJD высокая, субмікронныя забруджвальныя рэчывы могуць быць выдалены, а дакладнасць фільтрацыі можа дасягаць 0,02 мікрона.
Функцыя ачысткі сістэмы, дзякуючы патоку электрастатычных часціц у алеі, усе прымешкі, такія як плёнка фарбы і аксід, прымацаваныя да маслянага бака, сценкі трубы і кампанентаў, прамываюцца і адсарбуюцца.